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高半自动光刻机 北京特博万德科技有限公司
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高半自动光刻机 北京特博万德科技有限公司

产品价格：
电议
产品型号：
可选择
供应商等级：
免企业未认证
经营模式：
工厂
企业名称：
北京特博万德科技有限公司
所属地区：
北京市
发布时间：
2014/10/23 19:58:33

010-87700693      13810504825

李先生先生(联系我时，请说明是在维库仪器仪表网看到的，谢谢)

企业档案

北京特博万德科技有限公司

免企业未认证证营业执照已上传

经营模式：工厂

所在地：北京市

主营产品：晶圆全检仪、低温真空泵

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  • 原产地：美国

能力

数值

X, Y方向运动距离，

+/-6mm； 
0.1微米

Z方向

+/-0.5微米

Theta; 

+/-3°；0.001°

光罩旋转

+/-15°

控制方式

软件控制，多种工艺参数可自行设定

卡盘移动控制

电子杆

光刻模式

靠近、软接、硬接和真空接触

预对准能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精对准能力

小于1微米

光罩尺寸

 14”×14”

适用的样品尺寸

50 ～ 300mm

光源选择

近紫外，中紫外和深紫外

 

联系方式

北京特博万德科技有限公司

联系人：
李先生先生
手机：
13810504825
传真：
010-87700693
所在地：
北京市
类型：
工厂
地址：
北京市朝阳区四惠桥凌科商务花园406

服务热线

010-87700693

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