PT2K125-160S是采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,了平台的运动和的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位、分辨率和稳定性可以纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。中空式设计,且通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
应用
◆ 光学捕获
◆ 扫描显微镜
◆ 掩模与晶片对准
◆ 扫描干涉仪
◆ 表面计量学
◆ 生物技术
◆ 微操作
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上海纳动纳米位移技术有限公司
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经营模式:工厂
所在地:上海市
主营产品:上海纳动纳米位移技术有限公司在纳米定位及运动控制技术方面拥有近十余年的产品研发技术经验团队组成,并具有完全的自主知识产权。产品涵盖叠堆压电陶瓷、机械封装型压电促动器、压电纳米定位台、压电纳米扫描台、压电平移台、压电偏摆台、压电Tip/Tilt平台、压电光束偏转镜、压电旋转台、压电升降台、压电显微镜样品扫描台、压电物镜聚焦定位器、压电陶瓷驱动/控制器、机床微进给压电平台、多自由度并联机构、压电微调千分尺、高精度微位移测量系统等系列产品。
PT2K125-160S是采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,了平台的运动和的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位、分辨率和稳定性可以纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。中空式设计,且通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
应用
◆ 光学捕获
◆ 扫描显微镜
◆ 掩模与晶片对准
◆ 扫描干涉仪
◆ 表面计量学
◆ 生物技术
◆ 微操作