一、技术参数 行程范围：X轴------500 mm          Y轴------600 mm           Z轴------400 mm 结构型式：活动桥式 传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高空气轴承 长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm 机台：高花岗岩平台   使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m           温度变化 1℃/h 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空气流量：100 L/min – 120 L/min   整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m 机台承重：500 kg 整机重量：850 kg   控制及探针测量系统： 1．驱动系统：直流伺服电机 (日本) 2．控制系统：Renishaw （英国） UCC 3．操作方式：计算机自动控制 + 微电脑操纵盒 4．控制软件：Serein DMIS V2.0 5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i （标准配置） 6．测量不确定度（E）：（2.8+L/300）μm 二、机械特点 1．  整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著了系统的运动性能，了测量及稳定性。 2．  三轴导轨均采用天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，测量过程中良好的温度稳定性及刚性。 3．  三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨受磨损。 4．  长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而设备的稳定性。 5．  控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。