●度,高,高信赖性
●Z Axis:450mm
●¢Axis:-5°~335°
●RR Axis:1032mm
●RL Axis:1032mm
●负载:MAX.10/each(including Hand)
●反复:0.1mm
●应用:Gl size:2-4Gen(730*920)
wafer/DUT size:8wafer-1Gen(270*360)
半导体,LCD等。
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银先生(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)
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