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1. GD25粗糙度驱动器
（1） 测量长度 20mm
（2） 测速 0.5 mm/s或0.1 mm/s,可调
（3） 直线度误差 0.2um/20mm
（4） 电动高度调整 4 mm
（5） 平面上手动调整倾斜 +10um/mm
2. PCV200轮廓驱动器
（1） 水平驱动长度 置于concept轮廓仪上至200mm
（2） 轮廓垂直测量范围 50mm(相对点为+/-25mm)
（3） 测力 2Mn …...120Mn,工件倒置测量也可以.
（4） 直线度误差 <1um/200mm
（5） X/Z方向定位 1 um
（6） 测针分辨率 ; 0.25 um/ 175 mm测杆 0.5 um/350 mm测杆
（7） 系统分辨率 0.04 um
（8） 扫描速度 0.2 mm/s至8 mm/s
（9） 测量速度 0.1mm/s …..1mm/s
（10） 测角 ; 在光滑表面可抬升+12 mm
（11） 测量倾斜 ; 驱动器可倾斜+/-45º以上进行测量
3. ST500测量工作台
（1） 立柱移动为 500mm
（2） 大理石底座台面尺寸 700 x550 x 90mm
（3） 控制方式 电驱动控制
（4） 调整装置 ; 配有倾斜
（5） T形槽 大理石平台有10mm
4. 粗糙度测量软件
（1） 测量原理 机械式指针接触测量配有MFW250,
（2） 测量量程 &plun;25, &plun;250, &plun;500 um
（3） 粗糙度轮廓分辨率 垂直方向: 50微米量程为0.8纳米
500微米量程为8纳米
（4） 水平方向: 0.56毫米为35纳米
1.75毫米为100纳米5.6毫米
350纳米17.5毫米为1微米
（5） 分辨率: 垂直方向 60,000:1
水平方向 16,000:1
（6） 垂直放大率 200,000
（7） 水平放大率 100,000
（8） ISO/DIN标准1级(相对误差<5%)
（9） 滤波器类型 ; 按照DIN 4777规定的轮廓滤波器(数字式和相位修正
式),RC滤波器,按DIN4776规定的滤波器.
（10） 截止波长 ; 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 mm
（11） 移动长度 0.56 / 1.75 / 5.6 / 17.5 mm
（12） 测量长度 0.4 / 1.25 / 4.0 / 12.5 mm
（13） 移动长度 0.56 …..17.5mm可调
（14） 参数 ; Ra, Rz, Rmax, S(RS), (R), tp(RMr),Rp, Rdq, Pt,
Rt, Rq, RzISO, R3z, P, PMr, Wt, Sk, Pc, Rk and all parameters as per DIN4776 (Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …) Analysis as per CMO (NR.05-015) : Ncrx, , Nr, Pt, PtRmax, R, AR , Nw, Wt, Wmax, W, AW，法国汽车工业(NR.05-015)标准分析: Ncrx, , Nr, Pt, Rmax, R, AR, NW, Wt, Wmax, W, AW. DIN4776规定的参数(Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …)，Wa,Wt,Wc，EN ISO 13565标准: Rk, Rvk, Rpk, Rpkx, Rvkx，EN ISO 12085(Motif)标准: R, AR, W, AW, Rx, Wx, Wte, Nr, Ncrx, Nw, CMP, Sr, Sar, Sw, Saw
5. 轮廓测量软件
（1） 测量原理 触针法
（2） 传感器 装在PCV200驱动器上的测尖和测臂.
（3） 测量范围 使用PCV200驱动器轮廓高度为50mm(或&plun;5mm),
（4） 水平长度 ; 200mm.
（5） 垂直放大率 ; 2,000或更大
（6） 轮廓各取样点之间的距离 0.07 um当取样速度为0.1 mm/s
（7） 0.35 um当取样速度 0.5mm/s
（8） 参数 曲率半径,角度,距离,坐标,回归直线的和创
作,圆,圆截 面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面.
（9） 校准 校准操作.
6. 200型 X-Y置物工作台
（1） 两个坐标方向可移动 2.5mm ,旋转5度
（2） 工作台台面尺寸 200X200mm
7. PCV轮廓校准装置
（1）标准球 45mm陶瓷球和8mm红宝石球
